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 自动化对接烘烤线成功案例
半导体设备洗涤自动烘干-苏州晶洲
浏览次数: 发布时间:2020年7月24日

一、半导体设备洗涤自动烘干主要技术参数
1、内胆尺寸:左右双内胆,单个内胆尺寸:宽2700*高1400*深2600mm;
2、外形尺寸(约):宽6610*高3500*深3025mm;
3、温度范围:常温~+300℃可调 ;
4、温度波动度:≤±1℃;
5、温度均匀度:≤±5℃(空载恒下测试);
6、升温速率:≤8℃/min;
7、洁净度:Class100级(≥0.5μm尘粒≤3.5颗/升)(工作室);
8、外壳温度:温升不超过环境+25℃,门周边除外。
9、电源:三相五线制,220V,50HZ;
10、总功率:120KW;
 半导体设备洗涤自动烘干
二、半导体设备洗涤自动烘干箱体结构特征
1、外壳材料:采用2mm厚Q235冷轧钢板(强度、塑性和焊接综合性能最好)折弯焊接制作;
2、内胆材料:采用1.5mm厚SUS304不锈钢板制作;保持内胆清洁无尘,防生锈、耐腐蚀;内部钣金与保温层全部满焊,防止保温层隔热棉泄漏,以保证洁净度。
3、箱体骨架:采用50*50*3mm角铁制作;保持箱体内外各个面的承载强度,并保留热胀冷缩系数,可防止箱体变形。
4、密封材料:密封条采用进口高温硅胶制作,可耐温不变形,门与箱体连接密封,加强密封效果;
5、门:自动上下开门,从下往上开启,共计2扇门,左右独立控制。配有升降马达,匀速控制。
三、半导体设备洗涤自动烘干培训
免费进行技术培训

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